第62章 压力、晶体与暗流 (第1/2页)

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清晨七点半,第一会议室。

空气里还残留着昨晚加班后速溶咖啡的涩味。椭圆形的会议桌旁,林海顶着一对更深的黑眼圈,将五份厚厚的文件夹逐一摊开。张明远坐在他对面,慢条斯理地擦拭着眼镜。沈南星面前是打开的笔记本电脑和一份标满记号的合资谈判草案。陆晨坐在主位,目光扫过每个人疲惫却专注的脸。

“开始吧。”陆晨的声音打破寂静,“林工,从第17炉到21炉,先说共性,再找差异。”

林海深吸一口气,点开投影。屏幕上并列显示出五炉碳化硅晶锭的宏观照片和对应的缺陷分布彩图。

“共性很明显。”他用激光笔指着图像上那些代表缺陷的彩色斑点,“无论工艺怎么微调,缺陷主要集中在晶体边缘区域和少数几个特定的生长扇形区内。这说明,根本问题不是随机扰动,而是系统性的热场不均匀和应力集中。我们之前用石墨烯缓冲层,主要改善了衬底界面处的成核质量,把缺陷密度从一千多拉到了八百附近,但想再往下,就必须动生长炉本身。”

他切换画面,显示出五炉详细的工艺参数日志。“差异点在这里。”他圈出几个数字,“第21炉,也就是做到798的那一炉,我们做了三处调整:缓冲层退火阶梯延长了180秒,让石墨烯薄膜的应力释放更充分;前驱体硅烷和碳氢化合物的流量比例微调了2%,更靠近化学计量比;最关键的是,我们人为干预了升温程序,在晶体生长初期增加了一个小小的温度振荡。”

“温度振荡?”张明远抬起头。

“对。”林海点头,“传统理论认为温度必须平稳。但我们分析前几炉数据发现,在特定阶段,一个小幅度的、受控的温度波动,反而能‘打散’正在形成的缺陷团簇,有点像……搅动一下快要结晶的糖水。第21炉的成功,很大程度上验证了这个猜想。”

会议室里安静了几秒。这是一个大胆且反直觉的操作。

“但风险极高。”林海话锋一转,脸上没有突破后的喜悦,只有凝重,“这个‘振荡’的幅度、时机、持续时间,全靠经验和感觉。差之毫厘,可能整炉晶体就废了,甚至损坏热场。而且,我们无法解释其背后的完整物理机制,更谈不上精确控制。所以,798可能是一次幸运的偶然,而不是可重复的技术。”

他最终说出了这个残酷的判断。

陆晨沉默地看着图表上那个孤零零的低点,它像一座险峰矗立在平均线之上。“也就是说,我们目前的真实水平,可能还是在820到850之间波动,798是一个离群值。”

“从统计学和工艺可控性角度看,是的。”林海没有否认,“除非我们能彻底弄清那个‘振荡’起作用的原理,并把它从一个‘手工技巧’变成‘可控参数’。这需要……大量的重复实验和更精密的原位监测设备,比如能在生长过程中实时观察晶体表面形貌和温度场分布的高温摄像系统。”

“那样的设备,多少钱?”沈南星问出了关键问题。

“进口的,一套下来,大概四百万到六百万人民币。而且交货周期长,调试复杂。”林海报出数字,“国产的……有在研的,但成熟度和可靠性未知,价格也要一两百万。”

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