第97章 两条腿，都要走稳 (第1/2页)
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会议室的白板上，密密麻麻写满了数据和化学式。
碳化硅晶体生长炉的模拟曲线在投影布上缓缓滚动，那条代表缺陷密度的红色线条，在800
cm?2的阈值附近反复震荡，始终无法突破到500以下的军标区域。
“问题不在工艺参数。”
林海用激光笔指着曲线上的几个峰值点，“我们试了七种不同的温度梯度，三种气体配比，甚至调整了籽晶的偏转角度——每次都是这里，晶体生长到十七毫米左右，缺陷密度必然飙升。”
他转身看向长桌尽头，“陆总，我们可能真的撞上材料瓶颈了。”
陆晨的目光从数据报表上抬起。
会议室里坐着核心团队的每一个人：张明远在纸上快速演算着什么，眉头紧锁；沈南星面前摊着西南应用物理研究所的公开论文汇编；王建国则盯着那份刚送到的快递文件，面色凝重。
那是西南所寄来的合作意向书草案，措辞礼貌，条件清晰，但字里行间透着某种审视。
“林工说的那个异常现象，”陆晨开口，声音平静，“再详细说一次。”
“上周三，第四批次长晶实验。”林海切换投影画面，调出一组微观结构图，“我们在例行电镜观察时发现，靠近加热器支撑杆的区域，晶体内部出现了一种……异常的纳米级互锁结构。”
他放大图像。
那是一种如同藤蔓交织般的微观形貌，在碳化硅晶格中蔓延。
“当时以为是污染，但做了eds能谱分析后——”林海顿了顿，“成分是氧化钇稳定氧化锆，也就是ysz。可我们的生长炉里，根本不该出现这种材料。”
会议室安静了几秒。
“加热器支撑杆的涂层材料。”张明远突然说，笔尖在纸上停住，“三年前的一篇日本论文提到过，某些高端长晶炉会采用改性ysz做热端部件的防护层，但那是实验室级别的……”
“我们的设备是国产改装的。”陆晨说，“采购清单上写的是‘耐高温陶瓷涂层’，没具体标明成分。”
“所以是意外。”沈南星总结道，“设备部件在高温下发生微量剥落，杂质进入晶体生长区，却阴差阳错形成了某种……结构强化效果？”
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